三维非接触式表面形貌仪

仪器中文名称

三维非接触式表面形貌仪

仪器英文名称

VK-X100K Laser Microscope/3 D &profile measurement

仪器型号规格

VK-X100K

工作原理

激光共聚焦显微镜脱离了传统光学显微镜的场光源和局部平面成像模式，激光扫描共聚焦显微镜光路图采用激光束作光源，激光束经照明针孔，经由分光镜反射至物镜，并聚焦于样品上，对标本焦平面上每一点进行扫描。

主要技术指标

物镜放大倍数为5X、10X、20X、50X，对应实际放大倍数100X-1000X。Z轴显示分辨率0.005μm，重复精度0.02μm； X-Y轴显示分辨率0.01μm，重复精度0.05μm； 测量头与载物台见增加载物支架，使工作距离达128mm； 带激光强度自动增益功能和Double-Scan功能，可测量斜度达到近80-90度；

主要测试和研究领域（多选）

地球科学  材料科学

主要用途（单选）

测试样品三维形貌，表面粗糙度，关键尺寸

主要附件及功能

激光共聚焦显微镜可用于自动测量样品的二维、三维表面形貌、表面粗糙度、关键尺寸（包括高度、孔洞深度、长度等）、关键部位的面积和体积等表面参数测试。该设备可测人造金刚石类透明材料、岩石、金属材料等，可测量高坡度高曲折度的材料表面。

仪器认证情况

生产厂商

基恩士

产地国别

日本

仪器原值

52.8826万元

启用日期

2012-04-16

所在单位名称

工程学院

实验室名称

工程学院实验教学中心

仪器安放地址

工程实验大楼305

邮政编码

430074

仪器联系人

方小红

电话

18986005699

电子邮件

346741943

是否共享

是

仪器状态

在用

开放机时安排

400机时

参考收费标准

200元/小时（校外300元/小时）

测试周期

一天

知名用户及联系方式

仪器图片（或多媒体信息）

备注